发明名称 |
一种MOCVD设备的进气装置及MOCVD设备 |
摘要 |
本发明公开了一种MOCVD设备的进气装置及MOCVD设备,进气装置内部设有相互隔离的第一腔体和第二腔体;第一腔体沿进气装置的直径方向设置,在第一腔体上竖向设有多个第一气体进气管,第二腔体位于第一腔体两侧,第二腔体内横向设有第二气体进气管道,第二气体进气管道贯穿进气装置侧壁,第二气体进气管道的管壁上设有多个喷孔;第二腔体上竖向设有多个第三气体进气管,第二气体与第三气体在第二腔体内混合后向下移动,进气装置的底面为第一过滤网,第一气体、第二气体和第三气体穿过第一过滤网向下流动。本发明进气装置的气体管道架构简洁,进气易控制,降低了设备制造成本及难度,提高了气体均匀性以及薄膜生长的均匀性和稳定性。 |
申请公布号 |
CN104264129B |
申请公布日期 |
2016.09.28 |
申请号 |
CN201410558174.X |
申请日期 |
2014.10.20 |
申请人 |
佛山市中山大学研究院 |
发明人 |
王钢;吴飞飞;李健;范冰丰 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
广州圣理华知识产权代理有限公司 44302 |
代理人 |
顿海舟;陈业胜 |
主权项 |
一种MOCVD设备的进气装置,其特征在于,所述进气装置内部设有相互隔离的第一腔体和第二腔体;所述第一腔体沿进气装置的直径方向设置,在第一腔体上竖向设有多个第一气体进气管,第一气体进气管的进气端凸出于进气装置顶部,从各第一气体进气管流入的气体进入第一腔体内混合;所述第二腔体位于第一腔体两侧,第二腔体内横向设有第二气体进气管道,所述第二气体进气管道贯穿进气装置侧壁,第二进气管道的一端为进气端,另一端为闭合端,且闭合端靠近进气装置中心处设置,第二气体进气管道的管壁上设有多个喷孔;还包括竖向设于第二腔体上的多个第三气体进气管,第三气体进气管的进气端凸出于进气装置顶部;第二气体与第三气体在第二腔体内混合并向下流动;所述进气装置的底面为第一过滤网,第一气体、第二气体和第三气体穿过所述第一过滤网向下流动。 |
地址 |
528222 广东省佛山市南海区南海软件园信息大道崇贤楼A栋三层 |