一种工件台接片手装置

摘要

本发明涉及一种工件台接片手装置，包括安装基座、支撑组件、驱动组件、测量单元、气控单元以及辅助支撑组件，其中，所述支撑组件安装于所述安装基座上，用于承载并吸附工件；所述驱动组件安装在所述安装基座上，驱动所述支撑组件垂向运动；所述测量单元固定于所述安装基座与所述支撑组件之间，测量所述支撑组件垂向运动的位移；所述气控单元固定于所述安装基座上为所述工件提供辅助支撑以及掉电保护；所述辅助支撑组件固定于所述安装基座上，并与所述支撑组件连接，二者同步运动为所述工件提供支撑。本发明利用气控单元解决因负载变化而造成的电机静态推力，使本装置更快速精准的运动，且支撑组件与辅助支撑组件采用单一电机驱动，提高同步性。

主权项

一种工件台接片手装置，其特征在于，包括安装基座、支撑组件、驱动组件、测量单元、气控单元以及辅助支撑组件，其中，所述支撑组件安装于所述安装基座上，用于承载并吸附工件；所述驱动组件安装在所述安装基座上，驱动所述支撑组件垂向运动；所述测量单元固定于所述安装基座与所述支撑组件之间，测量所述支撑组件垂向运动的位移；所述气控单元固定于所述安装基座上为所述工件提供辅助支撑以及掉电保护；所述辅助支撑组件固定于所述安装基座上，并与所述支撑组件连接，二者同步运动为所述工件提供支撑；所述安装基座包括X向顶板、安装基座板以及支架，所述安装基座板与所述支架均固定设置于所述X向顶板的中心位置，构建起支撑所述支撑组件的运动平台；所述辅助支撑组件固定于所述X向顶板的外围；所述支撑组件包括支撑板、若干中空立柱以及接片手指，所述若干中空立柱分布于所述支撑板上，所述中空立柱的顶端分别固定连接有接片手指；所述气控单元包括无杆气缸以及第二托举板，所述无杆气缸固定于所述安装基座板上，所述第二托举板安装于所述支撑板的下方，且一端与所述无杆气缸固定连接；所述无杆气缸包括缸体和滑块两部分，所述缸体固定于所述安装基座板上，所述滑块垂向运动，所述滑块与所述第二托举板固定连接，从而向所述支撑板传递支撑力；所述辅助支撑组件包括支撑架、柔性索、导向滑轨、连动块、辅助顶针以及三个滑轮机构，所述导向滑轨垂向固定于所述支撑架上，所述连动块通过所述导向滑轨沿垂向滑动，所述辅助顶针固定于所述连动块的顶端，所述柔性索的两端分别连接至所述支撑板和所述连动块，所述柔性索通过所述三个滑轮机构转向。