一种CIGS太阳能电池吸收层的生产设备

摘要

本发明涉及CIGS太阳能电池吸收层的生产设备，具体说是一种CIGS太阳能电池吸收层的生产设备，其包括输送吸收层衬底至腔体内的输送带，四对上、下隔板将腔体分隔成预热段、硒化段和冷却段，硒化段连接有硒蒸气产生装置，硒蒸气产生装置通过喷射装置向移动的衬底喷射硒蒸气，在硒化段两端的上隔板或下隔板上分别开具有惰性气体进气孔和排气孔，不仅可保证硒化反应前，排出硒化段内的空气；而且硒化反应顺利进行。本方案通过预热段、硒化段和冷却段对衬底进行连续处理，不仅保证了吸收层的生产质量，而且可进行连续的大规模生产。

主权项

一种CIGS太阳能电池吸收层的生产设备，包括输送吸收层衬底至腔体内的输送带，其特征在于：四对上、下隔板将腔体分隔成预热段、硒化段和冷却段，预热段内安装有加热装置，硒化段连接有硒蒸气产生装置，硒蒸气产生装置通过喷射装置向移动的衬底喷射硒蒸气，硒化段上安装有温控装置，在硒化段两端的所述隔板上分别开具有惰性气体进气孔和排气孔，冷却段内设有冷却水套；所述预热段与硒化段、硒化段与冷却段均呈台梯状，所述进气孔和排气孔分别设置于两台阶面上；所述硒化段通过两对上、下挡板分隔为喷涂区、反应区和进气区，上、下挡板之间留有供输送带移动的间隙，喷涂区内安装有所述喷射装置；在喷涂区与反应区之间、反应区和进气区之间的所述挡板上均设有气体通孔。