扫描带电粒子显微镜图像的高画质化方法和扫描带电粒子显微镜装置

摘要

能够高速地显示对通过带电粒子显微镜拍摄到的扫描过程中的图像进行适当的高画质化处理后的结果。针对拍摄视野内的图像数据(401)，根据与未取得视野内的图像数据的区域(414)的距离，将取得了图像数据的区域(410)分割为2个以上的区域(411、412、413)，针对该分割后的各个区域的图像数据，与分割后的区域对应地决定高画质化处理方法和高画质化的处理参数，针对分割后的各区域的图像数据，使用决定的与分割后的区域对应的处理方法和处理参数进行高画质化处理(415、416)。

主权项

一种扫描带电粒子显微镜的高画质化方法，其使通过扫描带电粒子显微镜拍摄试样而得到的图像成为高画质，该高画质化方法的特征在于，具有：扫描步骤，对扫描带电粒子显微镜的拍摄视野内的试样的一部分区域一边扫描一边照射聚焦后的带电粒子束来拍摄上述试样，由此依次取得上述试样的图像数据；区域分割步骤，根据与在该扫描步骤中依次取得图像数据的上述扫描带电粒子显微镜的拍摄视野内的区域中的未取得上述图像数据的区域的距离，将取得了上述图像数据的区域分割为2个以上的区域；处理方法/处理参数决定步骤，针对分割后的各个上述区域的图像数据，与在上述区域分割步骤中分割后的区域对应地决定高画质化处理方法和高画质化的处理参数；高画质化步骤，针对在上述区域分割步骤中分割后的各区域的图像数据，使用在上述处理方法/处理参数决定步骤中决定的与分割后的上述区域对应的处理方法和处理参数，进行高画质化处理；以及高画质化结果显示步骤，显示在该高画质化步骤中进行了高画质化处理后的图像，直到上述扫描带电粒子显微镜的视野内的上述试样上的区域的扫描结束为止，反复进行从上述扫描步骤到上述高画质化结果显示步骤。