XYθ工作台装置

摘要

沿X方向进退而对可动工作台(2)施加X方向的驱动力的1个第一驱动单元(5)配置为对可动工作台(2)的X方向一端部的Y方向中心位置施加X方向的驱动力。沿着与X方向垂直的Y方向进退而对可动工作台(2)施加Y方向的驱动力的2个第二驱动单元(6、7)配置为以可动工作台(2)的中心(O)为对称中心的点对称。多个平面引导轴承(3)配置于使得各平面引导轴承(3)的力矩的总和在可动工作台(2)的沿着X方向的中心轴线处为零的位置。该力矩是将由于可动工作台(2)的移动而在平面引导轴承(3)处产生的摩擦力乘以从该平面引导轴承(3)至第一驱动单元(5)为止的Y方向距离而得的。

主权项

一种XYθ工作台装置，其特征在于，具有：底座，其具有平坦面；可动工作台，其在所述底座上并且在与所述平坦面平行的移动平面内进行直线移动及旋转移动；多个平面引导轴承，它们配置于所述底座与所述可动工作台之间，将所述可动工作台以能够进行所述直线移动及所述旋转移动的方式支承于所述底座上；3个驱动单元，它们配置于所述底座上，对所述可动工作台施加驱动力而使所述可动工作台移动；以及连结单元，其将各个所述驱动单元分别与所述可动工作台连结成能够在所述移动平面内相对摆动运动并且能够相对滑动运动，所述3个驱动单元由1个第一驱动单元和2个第二驱动单元构成，其中，该1个第一驱动单元沿所述移动平面内的X方向进退而对所述可动工作台施加所述X方向的驱动力，该2个第二驱动单元沿所述移动平面内的与所述X方向垂直的Y方向进退而对所述可动工作台施加所述Y方向的驱动力，所述第一驱动单元被配置成，对所述可动工作台的所述X方向的一端部处的所述Y方向的中心位置施加所述X方向的驱动力，所述2个第二驱动单元被配置成以所述可动工作台的中心为对称中心的点对称，针对所述多个平面引导轴承，分别将由于所述可动工作台的移动而在所述平面引导轴承处产生的摩擦力乘以从该平面引导轴承至所述第一驱动单元为止的Y方向距离而计算出力矩，在使得各个所述平面引导轴承的力矩的总和在所述可动工作台的沿着所述X方向的中心轴线处为零的位置配置所述多个平面引导轴承。