具缓冲区的非线性式镀膜设备

摘要

本实用新型公开一种具缓冲区的非线性式镀膜设备，包含有一入料室、一紧邻该入料室的镀膜缓冲转向装置与多个溅镀室，其中该入料室供置入一载具，该镀膜缓冲转向装置承接来自该入料室的该载具，该入料室与该镀膜缓冲转向装置为串联排列于一第一方向，且该第一方向与一第二方向垂直，并该镀膜缓冲转向装置具有至少一缓冲区与一设置于该缓冲区且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构，该溅镀室于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置，并设置于该镀膜缓冲转向装置的该至少一缓冲区的两侧；本实用新型可以缩减该第一方向的长度，同时可以因应工艺需要，自由选择需要的溅镀室进行镀膜，而增加溅镀室的利用效率，以增加产能。

主权项

一种具缓冲区的非线性式镀膜设备，对一载具上的一基材进行镀膜，其特征在于，包含有：一入料室，该入料室供置入该载具；一紧邻该入料室的镀膜缓冲转向装置，该镀膜缓冲转向装置承接来自该入料室的该载具，该入料室与该镀膜缓冲转向装置为串联排列于一第一方向，且该第一方向与一第二方向垂直，并该镀膜缓冲转向装置具有至少一缓冲区与一设置于该缓冲区且供选择于该第一方向、该第二方向进行传送该载具的传送机构；以及多个于该第二方向紧邻设置于该镀膜缓冲转向装置的溅镀室，该溅镀室设置于该镀膜缓冲转向装置的该至少一缓冲区的两侧。