| 摘要 |
파일럿 밸브 구조체는, 입구 및 출구를 갖는 메인 흐름 바디, 및 주변부와, 가동부와, 제1 및 제2 측부를 갖는 다이아프램을 갖는 메인 밸브를 구비하는 것으로 기술된다. 상기 입구와 출구 사이의 상기 흐름 바디 내에는 메인 흐름 오리피스가 위치된다. 상기 다이아프램의 가동부에 부착 및/또는 배치되는 메인 밸브 플러그는, 상기 다이아프램의 가동부가 제1 및 제2 위치에 있을 때 상기 흐름 오리피스를 개폐한다. 또한, 상기 파일럿 밸브는 상기 메인 흐름 바디의 흐름 경로에 연결된 파일럿 밸브 입구를 구비한다. 상기 메인 밸브 플러그 내에 함께 파일럿 밸브 출구/오리피스가 배치된다. 상기 파일럿 밸브는 상기 파일럿 밸브 오리피스를 개폐하도록 이동가능한 파일럿 밸브 플러그를 구비한다. 또한, 이와 같은 파일럿 밸브 구조체와 관련된 질량 흐름 제어기가 기술된다. |
