MEMS AND/OR NEMS PRESSURE SENSOR WITH IMPROVED PERFORMANCES AND DYNAMIC MICROPHONE WITH SUCH A SENSOR.

摘要

Capteur de pression dynamique de type MEMS et/ou NEMS comportant un support (2) et un élément sensible rigide (4) ancré au support (2) par au moins une zone d'ancrage, ledit élément sensible (4) comportant une première et une deuxième face parallèles destinées à être soumises à des pressions différentes, ledit élément sensible (4) étant apte à avoir un déplacement hors-plan par rapport au support (2) dans une direction (Z) de détection sous l'effet d'une différence de pression, le capteur de pression comportant également des moyens de détection d'un effort appliqué à l'élément sensible (4) par la différence de pression.