发明名称 | 一种HDI板快速蚀刻组合添加剂 | ||
摘要 | 本发明提供一种HDI板快速蚀刻组合添加剂,包括缓蚀剂和刻蚀加速颗粒。所述蚀刻加速颗粒选择亲水、多孔材料或经过亲水、扩孔改性。本发明提供的HDI板快速蚀刻组合添加剂,所述缓蚀剂在金属表面形成缓蚀保护层,所述蚀刻加速颗粒用于打破蚀刻底面的缓蚀保护层,使蚀刻液与蚀刻表面接触,同时,所述蚀刻加速颗粒的亲水性及丰富的孔结构,能加速蚀刻液通过快速达到蚀刻底部表面,并且,蚀刻液能更多地达到蚀刻表面底部表面。本发明提供的HDI板快速蚀刻组合添加剂能有效防止侧蚀的发生,并且能够达到快速蚀刻的目的,快速蚀刻底面。 | ||
申请公布号 | CN105957809A | 申请公布日期 | 2016.09.21 |
申请号 | CN201610388559.5 | 申请日期 | 2016.06.06 |
申请人 | 浙江振有电子股份有限公司 | 发明人 | 詹有根;徐永和;余军龙;高云芳;潘青 |
分类号 | H01L21/306(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
代理机构 | 北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) 11367 | 代理人 | 孙海波;郭平平 |
主权项 | 一种HDI板快速蚀刻组合添加剂,包括缓蚀剂和刻蚀加速颗粒。 | ||
地址 | 311301 浙江省杭州市玲珑工业园玲珑工业园 |