发明名称 一种HDI板快速蚀刻组合添加剂
摘要 本发明提供一种HDI板快速蚀刻组合添加剂,包括缓蚀剂和刻蚀加速颗粒。所述蚀刻加速颗粒选择亲水、多孔材料或经过亲水、扩孔改性。本发明提供的HDI板快速蚀刻组合添加剂,所述缓蚀剂在金属表面形成缓蚀保护层,所述蚀刻加速颗粒用于打破蚀刻底面的缓蚀保护层,使蚀刻液与蚀刻表面接触,同时,所述蚀刻加速颗粒的亲水性及丰富的孔结构,能加速蚀刻液通过快速达到蚀刻底部表面,并且,蚀刻液能更多地达到蚀刻表面底部表面。本发明提供的HDI板快速蚀刻组合添加剂能有效防止侧蚀的发生,并且能够达到快速蚀刻的目的,快速蚀刻底面。
申请公布号 CN105957809A 申请公布日期 2016.09.21
申请号 CN201610388559.5 申请日期 2016.06.06
申请人 浙江振有电子股份有限公司 发明人 詹有根;徐永和;余军龙;高云芳;潘青
分类号 H01L21/306(2006.01)I 主分类号 H01L21/306(2006.01)I
代理机构 北京驰纳智财知识产权代理事务所(普通合伙) 11367 代理人 孙海波;郭平平
主权项 一种HDI板快速蚀刻组合添加剂,包括缓蚀剂和刻蚀加速颗粒。
地址 311301 浙江省杭州市玲珑工业园玲珑工业园