发明名称 |
透镜可移动的浸入式光刻机 |
摘要 |
本发明公开了一种透镜可移动的浸入式光刻机,包括液体槽;所述液体槽之内置有折射率大于1.4的液体;所述液体槽之内放置有光路系统;所述液体槽之外、液体槽的正下方放置有工作台;所述光路系统包括凸透镜;所述凸透镜的射出光路之上放置有光刻掩膜;所述光刻掩膜之后放置有准直装置;所述准直装置的光出射方向放置有第三折射镜;所述第三折射镜的对称方向放置有第四折射镜;所述第三折射镜的光出射方向放置有凹面折射镜;所述凹面折射镜的焦点之处放置有凸面折射镜;所述第四折射镜固定在所述移动装置之上。本发明所述的装置,将光路系统整个浸入折射率为1.4液体中,可以增加光刻精度。 |
申请公布号 |
CN105954978A |
申请公布日期 |
2016.09.21 |
申请号 |
CN201610551670.1 |
申请日期 |
2016.07.13 |
申请人 |
无锡宏纳科技有限公司 |
发明人 |
吕耀安 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 |
代理人 |
聂汉钦 |
主权项 |
一种透镜可移动的浸入式光刻机,其特征在于,包括液体槽(10);所述液体槽(10)之内置有折射率大于1.4的液体;所述液体槽(10)之内放置有光路系统;所述液体槽(10)之外、液体槽(10)的正下方放置有工作台(11);所述光路系统包括凸透镜(1);所述凸透镜(1)的射出光路之上放置有光刻掩膜(2);所述光刻掩膜(2)之后放置有准直装置(3);所述准直装置(3)的光出射方向放置有第三折射镜(4);所述第三折射镜(4)的对称方向放置有第四折射镜(7);所述第三折射镜(4)的光出射方向放置有凹面折射镜(6);所述凹面折射镜(6)的焦点之处放置有凸面折射镜(5);所述第四折射镜(7)固定在所述移动装置(8)之上。 |
地址 |
214000 江苏省无锡市新区清源路20号太湖国际科技园传感网大学科技园立业楼D区一楼 |