| 发明名称 | 一种微波等离子渗镀硫工艺 | ||
| 摘要 | 本发明涉及金属零件表面处理技术，尤其涉及一种低温渗镀硫工艺。一种微波等离子渗镀硫工艺，包括以下步骤：（1）、将工件放进炉内，抽真空，在真空度50Pa左右，开启离子轰击电源，起弧放电清洗工件表面；（2）、输入硫化氢至真空度60Pa，高压轰击工件1.5～2小时；全过程控制工件温度不超过180℃；（3）、停止高压轰击；开启三相轰击电源，送入氩气，溅射铁靶，制造大量铁离子；（4）、真空度控制在10<sup>1</sup>Pa，开启微波电源，送入微波，适量增加硫化氢的供应量；（5）、开启负偏压电源，送上‑50V的负偏压以吸收铁离子，形成硫化铁薄膜；（6）、沉积过程中温控在180℃以下，沉积2～3小时；停止微波和输入的气体，停电停炉，工艺完成。 | ||
| 申请公布号 | CN105951033A | 申请公布日期 | 2016.09.21 |
| 申请号 | CN201610315010.3 | 申请日期 | 2016.05.13 |
| 申请人 | 青岛普雷斯马微波科技有限公司 | 发明人 | 张敬祎;高秀敏;黄富育 |
| 分类号 | C23C8/38(2006.01)I | 主分类号 | C23C8/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人 | 李新欣 |
| 主权项 | 一种微波等离子渗镀硫工艺，包括以下步骤：（1）、将工件放进炉内，抽真空，在真空度50Pa左右，开启离子轰击电源，起弧放电清洗工件表面；（2）、输入硫化氢至真空度60Pa，高压轰击工件1.5～2小时，以形成过渡层Fe2~xS；全过程控制工件温度不超过180℃；（3）、停止高压轰击；开启三相轰击电源，送入氩气，溅射铁靶，制造大量铁离子；（4）、真空度控制在101Pa，开启微波电源，送入微波，适量增加硫化氢的供应量；（5）、开启负偏压电源，送上‑50V的负偏压以吸收铁离子，形成硫化铁薄膜；（6）、沉积过程中温控在180℃以下，沉积2～3小时；停止微波和输入的气体，停电停炉，工艺完成。 | ||
| 地址 | 266000 山东省青岛市市北区四流南路126号车间（孵3-1） | ||