一种基于DVD光学读取头和悬臂结构的低频微纳振动测试仪

摘要

本发明公开了一种基于DVD光学读取头和悬臂结构的低频微纳振动测试仪，主要利用改装后的DVD光学读取头和悬臂式结构的低频微纳振动测试仪。本发明首次将改装后的DVD光学读取头应用于微振动的测量，测量精度更高，线性范围更大，测量频率更低，测振仪成本更低廉；通过对基座和悬臂的设计，使其能够测量更低频的振动。此外本测振仪还包括处理电路及微调装置。本发明测量振动范围能够达到±10µm，频率小于10 Hz，且分辨率10nm。

主权项

一种基于DVD光学读取头和悬臂结构的低频微纳振动测试仪，包括DVD光学读取头、悬臂，悬臂通过夹持装置固定于基座上，夹持装置通过螺孔固定于基座上，悬臂尾端正下方设置一个凹槽，悬臂尾端的正上方放置一光路转折装置（4），在光路转折装置水平方向正对于DVD光学读取头，基座四个转角处设有螺孔（5），用于测试仪和被测平台的固定；悬臂尾端端部粘有一阻尼臂，悬臂尾端端部上表面贴有一个反射镜，下表面贴有配重块，阻尼臂下端伸入到凹槽的阻尼液中。