一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法及冷却装置

摘要

本发明公开一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法，基于现有结构的铸锭炉，将铸锭炉内的隔热笼结构进行改进；第一步，首先在铸锭炉的隔热笼内增加一隔温装置，将隔热笼内形成两个封闭的腔室；第二步，然后在其中上腔室内设有上加热器、坩埚和下加热器，通过关闭隔温装置，启动上加热器和下加热器同时加热，使坩埚内的硅料熔化；第三步，在隔温装置下方设有换热装置；第四步，控制隔温装置开口的大小来控制冷气量，控制晶硅均匀生长。该冷却方法通过隔热门，巧妙地将炉内冷热分隔开；该方法通过控制上下加热器的功率，形成上下温度梯度，通过打开隔热门的每层可以控制开口的大小来控制通气量，控制冷却速度；该方法结构简单，操作方便。

主权项

一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法，基于现有结构的铸锭炉，其特征在于：将铸锭炉内的隔热笼结构进行改进；第一步，首先在铸锭炉的隔热笼内增加一隔温装置，将隔热笼内形成两个封闭的腔室；第二步，然后在其中上腔室内设有上加热器、坩埚和下加热器，通过关闭隔温装置，启动上加热器和下加热器同时加热，使坩埚内的硅料熔化；第三步，在隔温装置下方设有换热装置；第四步，控制隔温装置开口的大小来控制冷气量，控制晶硅均匀生长；上述第一步中隔温门设置为N层门，第一层门是全封闭的，将第二层～第N层隔温门设成中部开口，将各个隔温门层叠设置；当隔温门为N层时，设置第N层隔温门上的开口度大于第N‑1隔温门上的开口度；其中N≧3，N为整数；将所述第一层隔温门打开后，其余隔温门的中部开口处贯穿形成倒金字塔形状。