发明名称 電界効果型トランジスタ及びその製造方法、表示装置、イメージセンサ並びにX線センサ
摘要 A field effect transistor includes an oxide semiconductor layer, a source electrode, a drain electrode, a gate insulation film, and a gate electrode, wherein the oxide semiconductor layer has a first region including In(a) Sn(b) Zn(c) O(d) (where a > 0, b > 0, c > 0, d > 0, a + b + c = 1) and a second region including In(e) Ga(f) Zn(g) O(h) (where e > 0, f > 0, g > 0, h > 0, e + f + g = 1) disposed on a side further from the gate electrode than the first region.
申请公布号 JP5995504(B2) 申请公布日期 2016.09.21
申请号 JP20120101414 申请日期 2012.04.26
申请人 富士フイルム株式会社 发明人 小野 雅司;高田 真宏;田中 淳;鈴木 真之
分类号 H01L29/786;G09F9/30;H01L21/203;H01L21/336;H01L21/363;H01L27/144;H01L27/146 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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