弹性波装置及其制造方法

摘要

提供利用了板波的弹性波装置，不需要空腔的形成，能谋求制造工序的简化，并且机械强度优良，处置容易，且改善了温度特性。弹性波装置(1)传播板波，在支承基板(2)上层叠声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5)，压电体层(4)的厚度小于IDT电极(5)的电极指的周期，其中，声反射层(3)具有低声阻抗层(3b、3d、3f、3h)和高声阻抗层(3a、3c、3e、3g)，低声阻抗层由SiO₂构成，所述高声阻抗层由从W、LiTaO₃、Al₂O₃、AlN、LiNbO₃、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成。

主权项

一种弹性波装置，利用A₁模、S₀模或SH₀模的板波，具备：支承基板；形成于所述支承基板上的声反射层；形成于所述声反射层上的压电体层；和形成于所述压电体层的上表面或下表面的IDT电极，所述压电体层的厚度小于所述IDT电极的电极指的周期，其中，所述声反射层具有：低声阻抗层、和声阻抗高于该低声阻抗层的高声阻抗层，所述低声阻抗层由SiO₂构成，所述高声阻抗层由从W、LiTaO₃、Al₂O₃、AlN、LiNbO₃、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成，所述压电体层由LiNbO₃或LiTaO₃构成，该LiNbO₃或LiTaO₃的欧拉角，在利用A₁模、S₀模、SH₀模的情况下，为表1所示的范围内，[表1]