真空泵

摘要

提供一种基板布线简单并且基板的冷却容易的真空泵。采用以堵住泵主体（100）侧的外壳的开口的方式配设板（201）并且该板（201）还兼作控制单元（200）侧的外壳的基板单元构造。对贯通固定于板（201）的端子（210）的针（207）直接焊接AMB控制基板（209）和大气侧连接基板（211）而进行整体化。因此，能够简单地构成外壳部分以及密封构造。因此，不需要高价的防滴连接器（1、3），而是能够用廉价的端子（210）构成防滴构造。而且，通过该板（201）的冷却能够一次冷却分别装载在真空侧的AMB控制基板（209）和大气侧的大气侧连接基板（211）上的电子部件。

主权项

一种真空泵，其特征在于，具备：真空泵主体（100），在底面具有板（201）；控制单元（200），将该板（201）作为框体的一部分；多个针（207），在贯通所述板（201）而在两面留有露出部分的状态下进行安装；第一基板（209），导电部与该针（207）的所述真空泵主体（100）侧的露出部分直接接触，并配设在所述真空泵主体（100）内部的真空环境中；以及第二基板（211），导电部与所述针（207）的所述控制单元（200）侧的露出部分直接接触，并配设在所述控制单元（200）内部的大气环境中，所述板对所述第一基板或所述第二基板或装载在该基板上的电子部件的热进行传导。