取晶机

摘要

本发明涉及集成电路芯片处理技术领域，公开了一种取晶机，包括取晶臂、垂直驱动装置和旋转驱动装置，所述垂直驱动装置驱动所述取晶臂上下运动，所述旋转驱动装置驱动所述取晶臂转动，所述旋转驱动装置设置在所述垂直驱动装置的下方，所述取晶臂设置在所述旋转驱动装置的下方，所述取晶臂通过一个长轴连接至所述垂直驱动装置，所述长轴的中间穿过所述旋转驱动装置的中空转轴。本发明的垂直驱动装置和旋转驱动装置布置在同一直线上，节省空间，旋转驱动装置通过中空伺服电机对取晶臂提供旋转动力，与垂直驱动装置互不相涉。

主权项

一种取晶机，包括取晶臂、垂直驱动装置和旋转驱动装置，所述垂直驱动装置驱动所述取晶臂上下运动，所述旋转驱动装置驱动所述取晶臂转动，其特征在于：所述旋转驱动装置设置在所述垂直驱动装置的下方，所述取晶臂设置在所述旋转驱动装置的下方，所述取晶臂通过一个长轴连接至所述垂直驱动装置，所述长轴的中间穿过所述旋转驱动装置的中空转轴，所述垂直驱动装置和旋转驱动装置布置在同一直线上。