发明名称 叉指型光调制器
摘要 光调制器包括:硅衬底;设置在硅衬底上面的掩埋氧化物(BOX)层;以及设置在BOX层上面的脊形波导,并且该脊形波导包括第一n型硅(n‑Si)平板、耦接至第一n‑Si平板的第一栅极氧化物层、耦接至第一栅极氧化物层的第一p型硅(p‑Si)平板以及相继穿过第一n‑Si平板、第一栅极氧化物层和第一p‑Si平板行进的光传播路径。
申请公布号 CN105960607A 申请公布日期 2016.09.21
申请号 CN201580005808.1 申请日期 2015.01.26
申请人 华为技术有限公司 发明人 郑大卫;雷红兵;徐千帆;沈晓安;白聿生
分类号 G02F1/025(2006.01)I 主分类号 G02F1/025(2006.01)I
代理机构 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 代理人 王仲凯
主权项 一种光调制器,包括:硅衬底;设置在所述硅衬底上面的掩埋氧化物(BOX)层;以及设置在所述BOX层上面的脊形波导,并且所述脊形波导包括:第一n型硅(n‑Si)平板;耦接至所述第一n‑Si平板的第一栅极氧化物层;耦接至所述第一栅极氧化物层的第一p型硅(p‑Si)平板;以及相继穿过所述第一n‑Si平板、所述第一栅极氧化物层和所述第一p‑Si平板行进的光传播路径。
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