发明名称 |
叉指型光调制器 |
摘要 |
光调制器包括:硅衬底;设置在硅衬底上面的掩埋氧化物(BOX)层;以及设置在BOX层上面的脊形波导,并且该脊形波导包括第一n型硅(n‑Si)平板、耦接至第一n‑Si平板的第一栅极氧化物层、耦接至第一栅极氧化物层的第一p型硅(p‑Si)平板以及相继穿过第一n‑Si平板、第一栅极氧化物层和第一p‑Si平板行进的光传播路径。 |
申请公布号 |
CN105960607A |
申请公布日期 |
2016.09.21 |
申请号 |
CN201580005808.1 |
申请日期 |
2015.01.26 |
申请人 |
华为技术有限公司 |
发明人 |
郑大卫;雷红兵;徐千帆;沈晓安;白聿生 |
分类号 |
G02F1/025(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/025(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 |
代理人 |
王仲凯 |
主权项 |
一种光调制器,包括:硅衬底;设置在所述硅衬底上面的掩埋氧化物(BOX)层;以及设置在所述BOX层上面的脊形波导,并且所述脊形波导包括:第一n型硅(n‑Si)平板;耦接至所述第一n‑Si平板的第一栅极氧化物层;耦接至所述第一栅极氧化物层的第一p型硅(p‑Si)平板;以及相继穿过所述第一n‑Si平板、所述第一栅极氧化物层和所述第一p‑Si平板行进的光传播路径。 |
地址 |
518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼 |