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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD
摘要
VGAA(vertical gate all around)가 제공된다. 실시예에서, VGAA는 제1 콘택트 패드 및 제2 콘택트 패드를 갖는 나노와이어를 갖는다. 나노와이어 내에 채널 영역을 정의하는 것을 돕는 게이트 전극이 이용된다. 추가의 실시예에서, 다수의 나노와이어, 다수의 하부 콘택트, 다수의 상부 콘택트 및 다수의 게이트 콘택트가 이용된다.
申请公布号
KR101658712(B1)
申请公布日期
2016.09.21
申请号
KR20140171989
申请日期
2014.12.03
申请人
타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
发明人
시에 밍-타;오토우 테츠;차이 칭-웨이;왕 치-하오
分类号
H01L29/792;H01L29/772
主分类号
H01L29/792
代理机构
代理人
主权项
地址
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