MOUNTINGS FOR ROTATION OF ARRAY OF REFLECTIVE ELEMENTS AND LITHOGRAPHIC APPARATUS INCORPORATING SAME

摘要

반사 요소의 어레이를 개시한다. 반사 요소 중의 하나 이상의 요소는 슬리브 내에 적어도 부분적으로 위치한 로드를 포함하는 마운팅 상에 설치된다. 로드의 제1 단부는 슬리브의 제1 단부에 고정되고, 로드의 제2 단부는 이동가능하게 되어 있다. 슬리브는 로드의 제2 단부가 이동가능하도록 휘어지게 구성된 제1 탄성 가요성 부분을 포함한다. 반사 요소는 슬리브가 휘어지는 것에 의해 반사 요소가 회전되도록 슬리브의 제1 단부에 설치된다.