高温氮化气流场控制装置及其控制方法

摘要

本发明提供一种高温氮化气流场控制装置及其控制方法，包括：用于驱动炉体内气体流动的叶轮、用于通入氨气的第一进气口和用于通入驱动叶轮转动的动力气体的第二进气口，第一进气口设置于叶轮的下方，第二进气口设置于叶轮的斜上方；动力气体为氩气。本发明提供高温氮化气流场控制装置，该装置在炉门内壁上设置由氩气驱动的叶轮，一方面利用叶轮的转动混匀炉内的氨气和氩气，同时所通入的氩气还能作为高纯氨气的稀释气体来调整炉内氨气的浓度。

主权项

一种高温氮化气流场控制装置，包括：用于容纳样品的炉体，所述炉体的一端为敞口其上设有炉门，其特征在于，还包括：用于驱动所述炉体内气体流动的叶轮、用于通入氨气的第一进气口和用于通入驱动所述叶轮转动的动力气体的第二进气口，所述炉门内壁上设有叶轮，所述第一进气口设置于所述叶轮的下方，所述第二进气口设置于所述叶轮的斜上方；所述动力气体为氩气。