用于在扫描束离子布植器中提高束利用率的方法

摘要

本发明提供了一种用以增加离子束利用率的剂量系统和方法，其中一个或多个侧法拉第杯沿着离子束路径而设置,并被用于感测其电流。一个或多个侧法拉第杯所分开的距离与工件直径有关。离子束跨越工件往返扫描，窄扫描和宽扫描交错着，其中窄扫描是由靠近工件边缘的逆转扫描方向来定，宽扫描是由位于侧法拉第杯的外部区域处的逆转扫描方向来定。

主权项

一种提高离子束利用率的方法，该方法包括：在工件支持物上设置工件；沿着离子束的路径设置一个或多个配置为感测所述离子束电流的侧法拉第杯，其中所述一个或多个侧法拉第杯与所述工件分开的距离与所述工件的直径有关；跨越所述工件的表面往返扫描所述离子束，其中，所述离子束的窄扫描一般由逆转位于所述工件边缘位置的所述离子束的扫描方向而定，所述离子束的宽扫描一般由逆转位于所述一个或多个侧法拉第杯的外部区域处的所述离子束的扫描方向来定，且使所述离子束的一个或多个窄扫描与所述离子束的一个或多个宽扫描交错；在往返扫描所述离子束的同时，经由所述一个或多个侧法拉第杯来感测所述离子束的电流；在所述离子束宽扫描的同时，将所述一个或多个侧法拉第杯电连接到剂量仪；以及在所述离子束窄扫描的同时，将所述一个或多个侧法拉第杯电连接到电接地。