一种质谱仪涡轮分子泵保护装置

摘要

本实用新型涉及一种涡轮分子泵保护装置，包括活塞、保护器本体；活塞通过弹簧与保护器本体连接，保护器本体具有与前级泵连接的接入口，接入口与保护器本体内部的空腔连通；保护器泵体之外固定设置接线盒，接线盒上设有弹性触点；当接入口接入分子泵前级真空系统，且前级泵启动时，活塞在压差作用下运动，活塞的突出部分与接线盒上面的弹性触点接触，使两触点导通，此开关信号作为涡轮分子泵的启动信号；当前级真空系统故障时，内外压差不足以使活塞与本体紧密接触，在弹簧的作用力下分离，此时两触点之间不能导通，涡轮分子泵随即自行停机而受到保护。

主权项

一种涡轮分子泵保护装置，其特征在于：包括活塞(1)、保护器本体(4)；所述活塞(1)通过弹簧(5)与保护器本体(4)连接，保护器本体(4)具有与前级泵连接的接入口(4a)，所述接入口(4a)与保护器本体(4)内部的空腔连通；保护器本体(4)之外固定设置接线盒(3)，接线盒上设有弹性触点(2)；所述弹性触点(2)设在活塞(1)的突出部分的下方。