| 主权项 |
一种微电子用MOS级硫酸的生产装置，其特征在于，该装置包括：吸收装置、重吸收装置、脱吸收装置、硫酸成品槽和尾气回收装置；吸收装置，该吸收装置包括第一吸收塔(2)、硫酸循环槽(3)、硫酸循环泵(4)、第一硫酸冷却器(5)、预热器(6)、三氧化硫蒸发器(7)、过滤装置(8)和废液槽(9)，在第一吸收塔(2)上设有第一进气口(201)、第一排气口(202)、第一进液口(203)和第一出液口(204)，在所述硫酸循环槽(3)内设有硫酸循环泵(4)，在所述硫酸循环泵(4)上设有硫酸循环泵出液口(402)和硫酸循环泵进液口(401)，在所述第一硫酸冷却器(5)上设有冷却器进液口(501)、冷却器出液口(502)、循环冷却水进水口(503)和循环冷却水出水口(504)，在所述预热器(6)上设有被加热酸进口(601)、被冷却酸出口(602)、被冷却酸进口(603)和被加热酸出口(604)，在所述三氧化硫蒸发器(7)上设有蒸发器进液口(701)、蒸发器出液口(702)、加热蒸汽进口(703)、冷凝水出口(704)和三氧化硫出气口(705)，在所述过滤装置(8)上设有过滤进口(801)、过滤出口(802)和排液口(803)，所述过滤装置(8)为笼状结构，在过滤装置(8)内设有滤网(804)，所述第一进气口(201)通过管道与工业硫酸生产系统(1)相连通，所述第一排气口(202)通过管道与工业硫酸生产系统(1)相连通，在第一吸收塔(2)内设有第一硫酸喷淋器(205)，所述第一硫酸喷淋器(205)与第一进液口(203)相连通，所述第一出液口(204)通过管道与硫酸循环槽(3)相连通，所述硫酸循环泵进液口(401)与硫酸循环槽(3)相连通，所述硫酸循环泵出液口(402)分别与冷却器进液口(501)和预热器被加热酸进口(601)相连通，所述冷却器出液口(502)与第一进液口(203)相连通，所述循环冷却水进水口(503)与循环冷却水出水口(504)分别与循环水进水管及回水管相连通，所述被加热酸进口(601)与被加热酸出口(604)相连通，所述被加热酸出口(604)与蒸发器进液口(701)相连通，所述蒸发器出液口(702)与被冷却酸进口(603)相连通，所述被冷却酸进口(603)与被冷却酸出口(602)相连通，所述被冷却酸出口(602)与硫酸循环槽(3)相连通，所述加热蒸汽进口(703)与冷凝水出口(704)相连通，所述三氧化硫出气口(705)与过滤进口(801)相连通，所述排液口(803)连通至废液槽(9)；重吸收装置，该重吸收装置包括第二吸收塔(10)、MOS吸收酸循环槽(11)、MOS吸收酸循环泵(12)和第二硫酸冷却器(13)，在第二吸收塔(10)上设有第二进气口(1001)、第二排气口(1002)、第二进液口(1003)和第二出液口(1004)，在所述MOS吸收酸循环槽(11)上设有MOS吸收酸循环槽进口(1101)、MOS吸收酸循环槽出口(1102)和超纯水进口(1103)，在所述MOS吸收酸循环泵(12)上设有输入端(1201)和输出端(1202)，在所述第二硫酸冷却器(13)上设有冷却器硫酸进口(1301)、冷却器硫酸出口(1302)、循环冷却水进口(1303)和循环冷却水出口(1304)，所述第二进气口(1001)通过管道与过滤出口(802)相连通，在所述第二进气口(1001)处设有气体稀释装置(1006)，所述第二排气口(1002)通过管道与尾气回收装置(19)相连通，在第二吸收塔(10)内设有第二硫酸喷淋器(1005)，所述第二硫酸喷淋器(1005)与第二进液口(1003)相连通，所述MOS吸收酸循环槽进口(1101)与第二出液口(1004)相连通，所述MOS吸收酸循环槽出口(1102)与循环泵输入端(1201)相连通，所述循环泵输出端(1202)与冷却器硫酸进口(1301)相连通，所述冷却器硫酸出口(1302)与第二进液口(1003)相连通，所述循环冷却水进口(1303)与循环冷却出水口(1304)分别与循环水的进水管及回水管相连通；脱吸收装置，该脱吸装置包括脱吸塔(14)、MOS脱吸酸循环槽(15)、MOS脱吸酸循环泵(16)和惰性气体产生装置(18)，在脱吸塔(14)上设有第三进气口(1401)、第三排气口(1402)、第三进液口(1403)、循环进液口(1404)和第三出液口(1405)，在所述MOS脱吸酸循环槽(15)上设有MOS脱吸酸循环槽进口(1501)和MOS脱吸酸循环槽出口(1502)，在所述MOS脱吸酸循环泵(16)上设有MOS脱吸酸循环泵进口(1601)和MOS脱吸酸循环泵出口(1602)，所述第三进液口(1403)与冷却器硫酸出口(1302)相连通，在所述脱吸塔(14)上内还设有第三硫酸喷淋器(1406)，所述第三硫酸喷淋器(1406)分别与第三进液口(1403)和循环进液口(1404)相连通，所述第三出液口(1405)与MOS脱吸酸循环槽进口(1501)相连通，所述MOS脱吸酸循环槽出口(1502)与MOS脱吸酸循环泵进口(1601)相连通，所述MOS脱吸酸循环泵出口(1602)与循环进液口(1404)相连通，所述第三进气口(1401)与惰性气体产生装置(18)相连通，所述第三排气口(1402)与尾气回收装置(19)相连通；硫酸成品槽(17)，该硫酸成品槽(17)通过管道与MOS脱吸酸循环泵出口(1602)相连通；尾气回收装置(19)，该尾气回收装置(19)与工业硫酸生产系统(1)相连通。 |
