一种平台的定位系统及其控制方法

摘要

本申请公开的一种运动机构的定位系统及其控制方法，控制器根据位置检测装置在平台振动时，检测到的平台位置信息，控制致动元件进行相应的伸缩动作输出。进而对平台的振动进行消减，且实时对定位误差进行补偿。当致动元件进行伸长时，弹簧元件受压缩短，从而使得平台向前移动；当致动元件进行缩短时，弹簧元件伸长，从而使得平台向后移动。因此，在平台振动时，获取平台的振动位置信息，并结合平台的目标位置，控制致动元件输出针对性往复运动，对平台的振动进行消减，并对平台的定位误差进行补偿。进而减少了平台的定位时间，提高了平台的定位精度。进而提高了电子制造装备的操作精度和工作效率。

主权项

一种平台的定位系统，其特征在于，包括：腔体结构、致动元件、弹簧限位结构、弹簧元件、位置检测装置和控制器，其中，所述腔体结构的第一侧壁设有用于运动机构末端穿过的孔，所述弹簧限位结构设置在所述运动机构的末端，所述弹簧元件套设在所述运动机构末端的外侧，且所述弹簧元件的一端抵接于所述第一侧壁的内侧，另一端抵接于所述弹簧限位结构的一侧；所述致动元件的一端固定于与所述第一侧壁相对的第二侧壁，另一端抵接于所述弹簧限位结构的另一侧；所述位置检测装置用于检测平台的位置信息，所述平台安装于所述腔体结构的顶端；所述控制器分别与所述致动元件和所述位置检测装置连接，用于根据所述位置检测装置在所述平台振动时检测到的平台位置信息，控制所述致动元件的进行伸缩动作。