X射线衍射装置以及X射线衍射测量方法

摘要

作为本发明的一个方式的X射线衍射装置（1）包括：测量单元（2），其测量被检试样（16）的X射线衍射强度分布；距离测量部（9），其测量被检试样（16）与测量单元（2）之间的间隔距离（Z）；以及数据处理部（10），其对X射线衍射强度分布进行校正处理。测量单元（2）具有：X射线照射部（3），其对被检试样（16）照射X射线；X射线检测部（6），其对来自被检试样（16）的多条衍射X射线进行一维检测或者二维检测；以及框体（8），其使X射线照射部（3）以及X射线检测部（6）相对于基准面（17）相对固定地配置。数据处理部（10）基于间隔距离（Z）来计算被检试样（16）的位移（ΔZ），根据计算出的位移（ΔZ），来计算被检试样（16）的测量点处的真实X射线衍射角（2θ），并基于计算出的真实X射线衍射角（2θ），来校正X射线衍射强度分布。

主权项

一种X射线衍射装置，其特征在于，包括：测量单元，其具有：X射线照射部，其对被检试样的测量点照射X射线；X射线检测部，其对所述X射线由所述被检试样的测量点衍射而形成的多条衍射X射线进行一维检测或者二维检测，来测量所述被检试样的X射线衍射强度分布；以及框体，其使所述X射线照射部以及所述X射线检测部相对于作为所述被检试样的基准位置的基准面相对固定地配置；距离测量部，其测量所述被检试样的测量点与所述测量单元之间的间隔距离；以及数据处理部，其计算所述测量单元和所述基准面之间的基准间隔距离与由所述距离测量部测量出的所述间隔距离之差，作为所述被检试样在厚度方向上的位移ΔZ，并利用计算出的所述位移ΔZ、从所述X射线照射部至所述被检试样的测量点的X射线入射角α、从所述基准面内的基准测量点到所述X射线检测部的距离R、从所述基准测量点至所述X射线检测部的假定衍射X射线出射角Θ_ex、以及下面所示的式（1），来计算所述被检试样的测量点处的真实X射线衍射角2θ，并基于计算出的所述真实X射线衍射角2θ，来校正所述X射线衍射强度分布，。