硅片切割线自变形装置

摘要

本实用新型提出一种硅片切割线自变形装置，包括支撑机构与压型机构，压型机构包括横向支杆与纵向支杆，横向支杆中具有横向槽口，横向槽口内设有横向固定压轮与横向活动压轮，横向槽口侧壁具有横向调节孔，横向支杆外侧设有横向叉形包边，横向活动轴杆末端穿过横向调节孔与横向叉形包边相连，横向叉形包边中部设有横向调节螺栓，纵向支杆中具有纵向槽口，纵向槽口内设有纵向固定压轮与纵向活动压轮，纵向槽口侧壁具有纵向调节孔，纵向支杆外侧设有纵向叉形包边，纵向活动轴杆末端穿过纵向调节孔与纵向叉形包边相连，纵向叉形包边中部设有纵向调节螺栓，纵向调节螺栓抵住纵向支杆末端，通过纵向调节螺栓对纵向活动轴杆进行位置调节。

主权项

硅片切割线自变形装置，包括支撑机构与压型机构，压型机构安装于支撑机构上，压型机构包括横向支杆与纵向支杆，其特征在于：横向支杆中具有横向槽口，横向槽口贯穿横向支杆两侧，并沿横向支杆的长度方向延伸，横向槽口内设有横向固定压轮与横向活动压轮，横向固定压轮与横向活动压轮之间具有供切割线通过的间隙，横向固定压轮通过横向固定轴杆安装于横向槽口内，横向活动压轮通过横向活动轴杆安装于横向槽口内，横向槽口侧壁具有横向调节孔，横向活动轴杆位于横向调节孔内，使横向活动轴杆可沿横向调节孔移动，横向支杆外侧设有横向叉形包边，横向活动轴杆末端穿过横向调节孔与横向叉形包边相连，横向叉形包边中部设有横向调节螺栓，横向调节螺栓抵住横向支杆末端，通过横向调节螺栓对横向活动轴杆进行位置调节；纵向支杆中具有纵向槽口，纵向槽口贯穿纵向支杆两侧，并沿纵向支杆的长度方向延伸，纵向槽口内设有纵向固定压轮与纵向活动压轮，纵向固定压轮与纵向活动压轮之间具有供切割线通过的间隙，纵向固定压轮通过纵向固定轴杆安装于纵向槽口内，纵向活动压轮通过纵向活动轴杆安装于纵向槽口内，纵向槽口侧壁具有纵向调节孔，纵向活动轴杆位于纵向调节孔内，使纵向活动轴杆可沿纵向调节孔移动，纵向支杆外侧设有纵向叉形包边，纵向活动轴杆末端穿过纵向调节孔与纵向叉形包边相连，纵向叉形包边中部设有纵向调节螺栓，纵向调节螺栓抵住纵向支杆末端，通过纵向调节螺栓对纵向活动轴杆进行位置调节。