| 摘要 |
반도체 제조 장치용 부재는, AlN제의 세라믹스 플레이트인 서셉터(10)와, 서셉터(10)에 접합된 가스 도입 파이프(20)를 구비하고 있다. 서셉터(10) 중 가스 도입 파이프(20)의 플랜지(22)와 대향하는 위치에는, 환형의 파이프 접합용 뱅크(14)가 형성되어 있다. 또한, 플랜지(22)와 파이프 접합용 뱅크(14) 사이에는, 파이프 납땜부(24)가 형성되어 있다. 플랜지(22)는, 폭이 3 ㎜ 이상, 두께가 0.5 ㎜ 이상 2 ㎜ 이하이다. 파이프 접합용 뱅크(14)는, 높이가 0.5 ㎜ 이상인 것이 바람직하고, 플랜지(22)의 외측 가장자리에 대향하는 모서리의 모따기가 C 모따기인 경우에는 C0.3 이상, R 모따기인 경우에는 R0.3 이상인 것이 바람직하다. |
