| 发明名称 | 扫描电子显微镜装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种扫描电子显微镜装置，其包括圆形台面，所述圆形台面的中心开设有圆形过孔，圆形过孔内设有可升降的托盘，托盘外围的圆形台面上间隔设置有两段弧形钢片。通过上述方式，本实用新型能够满足生产更小直径的晶圆的需求。 | ||
| 申请公布号 | CN205595302U | 申请公布日期 | 2016.09.21 |
| 申请号 | CN201620454328.5 | 申请日期 | 2016.05.18 |
| 申请人 | 成都海威华芯科技有限公司 | 发明人 | 王世伟 |
| 分类号 | H01J37/26(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人 | 胡川;徐丰 |
| 主权项 | 一种扫描电子显微镜装置，其特征在于，包括圆形台面，所述圆形台面的中心开设有圆形过孔，所述圆形过孔内设有可升降的托盘，所述托盘外围的圆形台面上间隔设置有两段弧形钢片。 | ||
| 地址 | 610029 四川省成都市双流县西南航空港经济开发区物联网产业园内 | ||