发明名称 工件搬运系统
摘要 本申请提供一种工件搬运系统,该工件搬运系统能够改善所使用的生产线的生产效率。例如,工件搬运系统(1)具有:机器人(11、12),其配置在对工件(W)进行规定处理的处理模组(4、6)的前方,且向处理模组(4、6)搬入工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出工件(W);工件收纳部(13),其收纳向处理模组(4、6)搬入的工件(W)以及从处理模组(4、6)搬出的工件(W);以及移动机构(14),其使工件收纳部(13)朝向与相对于处理模组(4、6)搬入搬出工件(W)的方向大致正交的方向移动。
申请公布号 CN103930984B 申请公布日期 2016.09.21
申请号 CN201280055914.7 申请日期 2012.11.20
申请人 日本电产三协株式会社 发明人 改野重幸
分类号 H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 沈捷
主权项 一种工件搬运系统,其特征在于,该工件搬运系统具有:机器人,其配置在对工件进行规定处理的处理模组的前方,且所述机器人向所述处理模组搬入所述工件以及从所述处理模组搬出所述工件;工件收纳部,其收纳向所述处理模组搬入的所述工件以及从所述处理模组搬出的所述工件;以及移动机构,其使所述工件收纳部朝向与相对于所述处理模组搬入搬出所述工件的方向大致正交的方向移动,所述工件搬运系统具有:多个所述工件收纳部,多个所述工件收纳部在上下方向上重叠配置;多个所述移动机构,多个所述移动机构分别使多个所述工件收纳部移动;以及多个所述机器人,多个所述机器人为与多个所述工件收纳部相同的个数以上,所述机器人具有装载所述工件的末端效应器和使所述末端效应器升降的升降机构,多个所述机器人排列在所述工件收纳部的移动方向上,多个所述工件收纳部配置在多个所述机器人的下侧,分别设置于多个所述机器人的所述末端效应器各自的移动范围的下限位置在所述工件收纳部的移动方向上逐渐降低,且根据多个所述工件收纳部各自的高度来设定。
地址 日本长野县