一种应用在无线传感器网络的音叉式微机械陀螺传感器

摘要

一种应用在无线传感器网络的音叉式微机械陀螺传感器，它涉及一种音叉式微机械陀螺传感器。本发明为了解决现有的微机械陀螺存在抗温度特性差的问题。本发明的第一陀螺组件和第二陀螺组件结构相同对称设置，且第一陀螺组件和第二陀螺组件之间通过第一连接梁连接，第一陀螺组件的解耦框架为矩形框架，两个固定锚点件分别安装在远离第二陀螺组件处的解耦框架的两个顶点处，两个固定锚点件之间的解耦框架外侧壁上安装有检测梳齿电容组，驱动质量块通过两个第二连接梁与解耦框架的内侧壁连接，四个差分驱动梳齿电容组均布在驱动质量块上。本发明用于无线传感器网络中。

主权项

一种应用在无线传感器网络的音叉式微机械陀螺传感器，其特征在于：它包括第一连接梁(1)、第一陀螺组件和第二陀螺组件，第一陀螺组件和第二陀螺组件结构相同对称设置，且第一陀螺组件和第二陀螺组件之间通过第一连接梁(1)连接，第一陀螺组件包括解耦框架(2)、检测梳齿电容组(7)、驱动质量块(5)、两个固定锚点件(3)、四个差分驱动梳齿电容组(4)和两个第二连接梁(6)，解耦框架(2)为矩形框架，两个固定锚点件(3)分别安装在远离第二陀螺组件处的解耦框架(2)的两个顶点处，两个固定锚点件(3)之间的解耦框架(2)外侧壁上安装有检测梳齿电容组(7)，驱动质量块(5)通过两个第二连接梁(6)与解耦框架(2)的内侧壁连接，四个差分驱动梳齿电容组(4)均布在驱动质量块(5)上。