一种硅片输送升降装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片输送升降装置，包括固定底板，所述固定底板上设置输送组件，所述固定底板下方设有用于升降所述输送组件的凸轮，所述凸轮通过一联轴器连接到凸轮驱动伺服电机，所述凸轮驱动伺服电机旋转时带动所述凸轮转动，从而带动所述输送组件实现升降运动。本实用新型装置解决单硅片连续进入硅片盒的过渡作用，在不影响效率的前提下减少了设备报警，降低碎片率，同时减轻了作业人员的劳动强度。

主权项

一种硅片输送升降装置，其特征在于，包括固定底板，所述固定底板上设置输送组件，输送组件下方安装凸轮随动器，所述固定底板下方设有用于升降所述输送组件的凸轮，所述凸轮通过一联轴器连接到凸轮驱动伺服电机，所述凸轮驱动伺服电机旋转时带动所述凸轮转动带动凸轮随动器转动，固定底板上设置输送组件已做限位，从而带动所述输送组件实现升降运动。