直立式靶材结构以及溅镀设备

摘要

本实用新型公开了一种直立式靶材结构以及溅镀设备。直立式靶材结构包含靶材主体。靶材主体具有相对的第一表面以及第二表面，第一表面配置成连接背板，靶材主体还具有第三表面、第四表面、第五表面以及第六表面，第三表面连接第一表面与第二表面，第四表面相对第三表面而连接第一表面，第五表面相对第三表面而连接第二表面，第六表面连接第四表面与第五表面，且该第六表面越接近该第五表面越远离该第一表面。借此，本实用新型的直立式靶材结构，能降低回溅物或副产物掉落至靶材主体的第二表面的机会。

主权项

一种直立式靶材结构，其特征在于，所述直立式靶材结构包含靶材主体，所述靶材主体具有相对的第一表面以及第二表面，所述第一表面配置成连接背板，所述靶材主体还具有第三表面、第四表面、第五表面以及第六表面，所述第三表面连接所述第一表面与所述第二表面，所述第四表面相对所述第三表面而连接所述第一表面，所述第五表面相对所述第三表面而连接所述第二表面，所述第六表面连接所述第四表面与所述第五表面，且所述第六表面越接近所述第五表面越远离所述第一表面。