欠陥検出を強化するための最良の開口及びモードを発見するための装置及び方法

摘要

検査治具のモードを最適化するための方法及び装置が開示される。検査治具の複数の第１の開口の各々についての第１の画像または信号が得られ、各第１の画像または信号は欠陥区域に関連する。第１の開口とそれらの第１の画像または信号との複数の組み合わせの各々について、合成画像または信号が得られる。各合成画像または信号は、各合成画像の欠陥検出特性に基づき第１の開口の組み合わせのうちの最適な１つを決定するために、分析される。