激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置。对保持于卡盘台的被加工物照射激光光线的激光光线照射构件具有：激光光线振荡构件、聚光器和配置于激光光线振荡构件与聚光器之间激光光线分支机构。激光光线分支机构具有：扩展角调整构件，其调整激光光线的扩展角；和分支单元，其将激光光线分支成多个激光光线。分支单元具有：1/2波长板、将激光光线分离为P偏振光和S偏振光的第一偏振分束器、反射P偏振光的第一反射镜、反射S偏振光的第二反射镜、以及将被第一反射镜和第二反射镜反射的P偏振光和S偏振光导入至同一方向的光路的第二偏振分束器，第一反射镜和第二反射镜配置为使通过第二偏振分束器导入至同一方向的光路的P偏振光和S偏振光以微小间隔导入。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于具有：卡盘台，其保持被加工物；激光光线照射构件，其对保持于该卡盘台的被加工物照射激光光线；以及加工进给构件，其使该卡盘台和该激光光线照射构件在加工进给方向上相对移动，其中，该激光光线照射构件包括：激光光线振荡构件，其振荡出激光光线；聚光器，其使从该激光光线振荡构件振荡出的激光光线会聚而照射至保持于该卡盘台的被加工物；以及激光光线分支机构，其配置于该激光光线振荡构件与该聚光器之间，将从该激光光线振荡构件振荡出的激光光线分支成多个激光光线，该激光光线分支机构包括：扩展角调整构件，其包括2个聚光透镜，且通过调整这2个聚光透镜之间的焦点位置的间隔，对从该激光光线振荡构件振荡出的激光光线的扩展角进行调整；以及分支单元，其将通过了该扩展角调整构件的激光光线分支成多个激光光线，该分支单元包括：1/2波长板；第一偏振分束器，其将通过了该1/2波长板的激光光线分离为P偏振光和S偏振光；第一反射镜，其对由该第一偏振分束器分离的P偏振光进行反射；第二反射镜，其对由该第一偏振分束器分离的S偏振光进行反射；以及第二偏振分束器，其将被该第一反射镜和该第二反射镜反射的P偏振光和S偏振光导入至同一方向的光路，该第一反射镜和该第二反射镜被配置为，使通过该第二偏振分束器导入至同一方向的光路的P偏振光和S偏振光以具有微小间隔的方式导入，通过该扩展角调整构件调整从激光光线振荡构件振荡出的激光光线的扩展角，由此调整经由该分支单元而通过该聚光器会聚的由P偏振光和S偏振光构成的多个激光光线的聚光点的间隔。