发明名称 | 一种平行出光紫外光曝光系统及曝光机 | ||
摘要 | 本实用新型涉及曝光处理技术领域,具体公开了一种平行出光紫外曝光系统,包括光源组件、聚光器、快门、曲镜、曝光台等结构,该平行出光紫外曝光系统采用双光源组件或单一光源组件。本实用新型还提供采用上述平行出光紫外曝光系统构成的曝光机。本实用新型提供的平行出光紫外光曝光系统,采用多个UV‑LED光源,全部向聚光器照射,并聚焦于聚光器上,实现使UV‑LED能发出连续紫外光,散热性能显着提高,其平行光的平行性好、均匀度高,具有紫外线光传输稳定,不受外界因素影响,从而保证入射至印刷电路板上的紫外线光的均匀度,提升了曝光质量。 | ||
申请公布号 | CN205581516U | 申请公布日期 | 2016.09.14 |
申请号 | CN201620192938.2 | 申请日期 | 2016.03.14 |
申请人 | 东莞王氏港建机械有限公司 | 发明人 | 霍锦充 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 | 广东莞信律师事务所 44332 | 代理人 | 曾秋梅 |
主权项 | 一种平行出光紫外光曝光系统,其特征在于,包括:光源组件,用于提供UV‐LED光源并发出紫外线光;聚光器,用于接收并会聚紫外线光;快门,用于控制曝光时间及曝光量;曲镜,用于将接收的紫外线光进行反射后平行入射至设于曝光台表面以进行曝光;所述的光源组件包括多个UV‐LED光源,且该多个UV‐LED光源逐一排列成凹面,并经过聚焦,将能量投射至聚光器上。 | ||
地址 | 523000 广东省东莞市常平镇土塘村 |