发明名称 |
一种大批量芯片等离子处理专用电极 |
摘要 |
本实用新型涉及一种大批量芯片等离子处理专用电极,包括真空舱体、样品架、绝缘材料、真空泵、样品料盒和高频高压电。所述样品架为垂直多层结构,置于真空舱体内部;所述真空舱体作为阴极,样品架作为阳极,阳极和阴极平行间隔排列;所述样品料盒直接置于样品架上,其侧面开有孔洞,使得样品料盒外部的离子能够穿过孔洞轰击样品料盒内的样品;同时样品料盒内部存在的气体分子被电离后,也会向阴极运动,轰击样品,使样品得到有效的等离子轰击处理。因为阴阳极板是平行排列的,所以在每对极板之间的等离子密度是一致的,即速度和方向一致性得到了保证,从而提高了产品的一致性。 |
申请公布号 |
CN205576277U |
申请公布日期 |
2016.09.14 |
申请号 |
CN201620339097.3 |
申请日期 |
2016.04.21 |
申请人 |
郑亮 |
发明人 |
郑亮 |
分类号 |
C23C16/513(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
C23C16/513(2006.01)I |
代理机构 |
北京市诚辉律师事务所 11430 |
代理人 |
郎坚 |
主权项 |
一种大批量芯片等离子处理专用电极,其特征在于,所述电极包括:真空舱体(1)、样品架(2)、绝缘材料(3)、真空泵(4)、样品料盒(5)和高频高压电(6);所述样品架(2)置于所述真空舱体(1)内部;所述真空舱体(1)作为阴极,样品架(2)作为阳极,阴极和阳极平行间隔排列。 |
地址 |
100088 北京市海淀区西直门北大街甲一号依都阁20C |