| 发明名称 | 一种加热匀胶的旋涂装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种加热匀胶的旋涂装置，所述装置包含有竖向设置的转轴（5），所述转轴（5）顶部套装有一水平设置的载物盘（1），所述转轴（5）上套装有隔热盘（4）和导电滑环（6），所述隔热盘（4）上安装有加热盘（3），所述加热盘（3）通过导电滑环（6）与电源相连接，上述隔热盘（4）位于加热盘（3）和导电滑环（6）之间，且加热盘（3）位于载物盘（1）的下方。本实用新型涉及一种加热匀胶的旋涂装置，能够在旋转过程中对胶液进行加热并对温度进行精确控制。 | ||
| 申请公布号 | CN205570723U | 申请公布日期 | 2016.09.14 |
| 申请号 | CN201620161944.1 | 申请日期 | 2016.03.03 |
| 申请人 | 江苏雷博科学仪器有限公司 | 发明人 | 汪竹;陈建锋;曹喜喜;万发能 |
| 分类号 | B05C13/02(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I | 主分类号 | B05C13/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人 | 陈强 |
| 主权项 | 一种加热匀胶的旋涂装置，其特征在于：所述装置包含有竖向设置的转轴（5），所述转轴（5）顶部套装有一水平设置的载物盘（1），所述转轴（5）上套装有隔热盘（4），所述隔热盘（4）上安装有加热盘（3），且加热盘（3）位于载物盘（1）的下方。 | ||
| 地址 | 214434 江苏省无锡市江阴市澄江中路159号Ｃ301 | ||