磁盘用基板的制造方法和磁盘的制造方法

摘要

本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法，该制造方法能够抑制研磨磨粒的清洗残留，能够充分降低基板表面缺陷。本发明中，用表面配备有研磨垫的一对定盘夹持圆板状的基板，将包含胶态二氧化硅作为研磨磨粒的研磨液供给至研磨面，从而对圆板状的基板的主表面进行研磨。上述研磨液含有具有特定的酰胺基或脲基的下述物质作为添加剂。R₁‑NH‑CO‑R₂式中，R₁表示烷基或氢原子，R₂表示烷基或‑NH‑R₃，R₃表示烷基。

主权项

一种磁盘用基板的制造方法，该磁盘用基板的制造方法包括下述研磨处理：用表面配备有研磨垫的一对定盘夹持圆板状的基板，将包含胶态二氧化硅作为研磨磨粒的研磨液供给至所述圆板状的基板的研磨面，对所述圆板状的基板的主表面进行研磨，该制造方法的特征在于，所述研磨液含有下述通式I所表示的物质作为添加剂，通式IR₁‑NH‑CO‑R₂式中，R₁表示烷基或氢原子，R₂表示烷基或‑NH‑R₃，R₃表示烷基，R₁和R₂相互可以为同一基团，也可以为不同基团；另外，R₁和R₂可以键合而形成环；另外，在R₂为‑NH‑R₃的情况下，R₁和R₃可以键合而形成环。