通过将清洁气体注射到沉积装置中来清洁沉积装置

摘要

实施方案涉及一种以两种模式操作的沉积装置：沉积模式和清洁模式。在沉积模式中，模块化注射器将材料注射到基底上以形成层。在清洁模式中，在不拆卸的情况下通过注射清洁气体来清洁沉积装置。在清洁模式中可以通过以下步骤来清洁注射器模块组合件：通过用于移除反应物前体的排出器注射清洁气体，以及将清洁气体从所述排出器输送至用于移除起始物前体的另一排出器。或者，在清洁模式中通过以下步骤来清洁注射器模块组合件：将清洁气体注射到用于注射起始物前体的注射器与用于注射反应物前体的另一注射器之间的通路中，以及将清洁气体输送至排出器之一。

主权项

一种操作注射器模块组合件的方法，包括：在沉积模式中，通过第一反应室将用于沉积第一材料的第一气体注射到基底上；在所述沉积模式中，通过第一排出器排出在将所述第一气体注射到所述基底上之后剩余的所述第一气体；在清洁模式中，通过所述注射器模块组合件的所述第一排出器注射用于移除沉积在所述注射器模块组合件上的第二材料的第二气体；以及在所述清洁模式中，将所述第二气体从所述第一排出器输送至所述注射器模块组合件的第二排出器，以将沉积在所述注射器模块组合件的所述第一排出器与所述第二排出器之间的部分上的所述第二材料移除。