一种多晶硅还原炉用电极的测试装置

摘要

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，本实用新型的主要技术方案为：一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，包括:支架；炉盘，设置在所述支架上；所述炉盘上至少具有一个通孔；四氟套，设置在所述通孔中，被所述通孔支撑；电极，插装在所述四氟套中，被所述四氟套支撑，使所述电极与所述炉盘隔离；炉腔，具有进气口；所述炉腔能够拆卸地设置在所述炉盘上，与所述炉盘形成容腔，用于容纳所述电极和所述四氟套；耐压测试装置，与所述电极连接，用于提供高电压。采用本实用新型可降低电极测试成本，降低操作难度。

主权项

一种多晶硅还原炉用电极的测试装置，其特征在于，包括:支架；炉盘，设置在所述支架上；所述炉盘上至少具有一个通孔；四氟套，设置在所述通孔中，被所述通孔支撑；电极，插装在所述四氟套中，被所述四氟套支撑，使所述电极与所述炉盘隔离；炉腔，具有进气口；所述炉腔能够拆卸地设置在所述炉盘上，与所述炉盘形成容腔，用于容纳所述电极和所述四氟套；耐压测试装置，与所述电极连接，用于提供高电压。