一种生产多晶硅方法

摘要

一种生产多晶硅的加热炉及生产多晶硅方法，属于加热炉技术领域。先将硅料置于石英陶瓷坩埚里，石英陶瓷坩埚内表面涂覆Si₃N₄涂层，并将隔热板放置在硅料上部，然后将坩埚和硅料、Si₃N₄涂层及隔热板一道置于感应电炉内，通电熔化硅料，当硅料全部熔化后，对硅液进行定向凝固，即可得到多晶硅。

主权项

一种生产多晶硅方法，其特征在于，采用生产多晶硅的加热炉，生产多晶硅的加热炉：石英陶瓷坩埚(4)内表面涂覆厚度1.5～2.5mm的Si₃N₄涂层(3)，石英陶瓷坩埚上开口配有隔热板(1)；石英陶瓷坩埚可分离地置于感应电炉内，感应电炉最内层为感应炉炉衬(6)，感应炉炉衬(6)的外面自上而下分别设有独立电源控制的多个平行的感应线圈(5)，在感应电炉的最下面是水冷铜套(7)；包括以下步骤：1)先将硅料置于内表面涂覆有厚度1.5～2.5mm的Si₃N₄涂层的石英陶瓷坩埚里，并将隔热板放置在硅料上部，然后将石英陶瓷坩埚和硅料及隔热板一道置于感应电炉内，通电熔化硅料；2)当硅料熔化成硅液，且硅液温度达到1425‑1435℃时，对水冷铜套进行通水冷却，进水温度5‑12℃，水压0.3～0.45MPa，水流量5.0‑5.5m³/h，并从感应炉的下部至上部依次切断感应线圈的电源，实现坩埚内硅液的定向凝固，使坩埚内硅液的凝固冷却速度控制在0.5～1.2mm/分钟；3)当坩埚内硅液全部定向凝固成硅锭，且冷却至温度为200‑250℃时，关闭冷却水，停止水冷铜套的通水冷却，并重新开启感应电炉电源，将坩埚内的硅锭重新加热至650～720℃，然后切断电源，将硅锭冷却至室温即可得到多晶硅。