一种多层电感无源无线LC温度传感器

摘要

本发明提供一种多层电感无源无线LC温度传感器，包括温敏电感和电容构成的LC谐振回路，所述温敏电感包括N层层叠的检测电感，各检测电感串联连接，相邻两层检测电感之间及最顶层的检测电感顶部均设有盖片，最底层的检测电感底部设有衬底；每层检测电感结构相同，均包括电感模具，电感模具为螺旋形状的凹槽，凹槽内注有液态金属合金形成螺旋电感；凹槽内、液态金属合金上表面形成金属氧化物保形层，金属氧化物保形层在凹槽内的高度低于凹槽上表面的高度；LC谐振回路中的电容由相邻的两层检测电感质之间的寄生电容并联构成。本发明结构简单、灵敏度高、响应较快。

主权项

一种多层电感无源无线LC温度传感器，包括温度电感和电容构成的LC谐振回路，其特征在于，所述温敏电感包括N层层叠的检测电感，各检测电感串联连接，相邻两层检测电感之间及最顶层的检测电感顶部均设有盖片(4)，最底层的检测电感底部设有衬底(1)；每层检测电感结构相同，均包括电感模具(3)，电感模具(3)为螺旋形状的凹槽，凹槽内注有液态金属合金(2)形成螺旋电感；凹槽内、液态金属合金(2)上表面形成金属氧化物保形层(5)，金属氧化物保形层(5)在凹槽内的高度低于凹槽上表面的高度；LC谐振回路中的电容由相邻的两层检测电感质之间的寄生电容并联构成。