发明名称 I-III-VI2材料层和钼基体之间的改进的界面
摘要 本发明涉及一种制造由I‑III‑VI合金构成的具有光伏特性的薄层的方法。根据本发明的方法包括的基本步骤有:a)在基体(SUB)上沉积一个适配层(MO),b)在所述适配层上沉积至少一层至少包括元素I和/或元素III的层(SEED)。适配层是在近似真空的条件下沉积的,而且步骤b)包括第一步操作:在与适配层沉积的条件相同的条件下沉积第一层元素I和/或元素III,而不将适配层暴露于空气中。
申请公布号 CN103460337B 申请公布日期 2016.09.14
申请号 CN201180063663.2 申请日期 2011.12.20
申请人 耐克西斯公司 发明人 皮埃尔-菲利普·格朗德;吉休斯 萨尔瓦多·杰米 费勒;伊曼纽尔·罗切;哈里克利埃·德利吉安尼;拉曼·维德亚纳桑;凯思琳 B·勒特;强·黄;柳博迈尔·罗曼凯伍;莫里瑟·马松;东纳 S·朱潘斯基-尼尔森
分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L21/36(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 上海天协和诚知识产权代理事务所 31216 代理人 童锡君
主权项 一种制造由I‑III‑VI合金构成的具有光伏特性的薄层的方法,元素I为铜,元素III为铟和/或镓以及元素VI为硫和/或硒,该方法包括:a)在基体上沉积一个适配层,b)在所述适配层上,沉积至少一层至少包括元素I和/或元素III的层,其中,适配层是在真空的条件下沉积的,而且步骤b)包括第一步操作:在与适配层沉积的条件相同的条件下,沉积第一层元素I和/或元素III,而不将所述适配层暴露于空气中,其特征在于,步骤b)包括第二步操作:通过电解作用,沉积至少一层I元素和/或III元素的第二层。
地址 法国鲁塞