发明名称 |
用以在流体中检测空气的系统及方法 |
摘要 |
实施例可在抽汲系统中检测空气。所述系统的一部分可与位于上游或下游的其它组件隔离。所述经隔离部分可包含腔室、管道、管线、阀门或泵的其它组件。在一实施例中,在活塞已移动预定距离后获得开始压力与结束压力之间的差。可将所述压力差与针对特定系统设置及/或流体属性建立的预期值比较以检测空气在所述系统中的存在。在一些实施例中,可在已达到预定压力差后确定泵组件的开始位置与结束位置之间的距离。可将所述距离与预期距离比较以检测空气在所述系统中的存在。 |
申请公布号 |
CN103843109B |
申请公布日期 |
2016.09.14 |
申请号 |
CN201280048390.9 |
申请日期 |
2012.08.17 |
申请人 |
恩特格里斯公司 |
发明人 |
特拉奇·L·巴彻尔德;詹姆斯·切德罗内 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 |
代理人 |
齐杨 |
主权项 |
一种抽汲系统,其包括:泵;控制器,其耦合到所述泵,所述控制器具有处理器及存储指令的非易失性计算机可读媒体,所述指令可由所述处理器翻译以执行:控制所述泵以隔离所述泵的一部分,所述泵的经隔离的所述一部分填充有液体,其中所述泵的经隔离的所述一部分具有容积;使所述泵的经隔离的所述一部分达到预定义的开始压力;以已知量改变所述泵的经隔离的所述一部分的所述容积;测量所述泵的经隔离的所述一部分中的结束压力;确定所述泵的经隔离的所述一部分中所述预定义的开始压力与所述结束压力之间的实际压力改变;及利用所述实际压力改变确定在所述泵的经隔离的所述一部分中是否存在气体。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |