一种气体小流量标准装置

摘要

本发明公开了一种气体小流量标准装置。所述气体小流量标准装置包括顺次通过管路串接相连的稳压罐、质量流量控制器、被检流量计和储水容器；所述储水容器分别通过管路与至少一个标准量器相连；所述储水容器内设有气囊或隔膜；所述标准量器的底面高于储水容器的顶面；所述气囊或隔膜上装有检测气囊或隔膜内温度和压力的测温装置和测压装置。本发明结构简单，价格低廉，测量精度高，优于0.1%，重复性好。

主权项

一种气体小流量标准装置，包括顺次通过管路串接相连的稳压罐（1）、质量流量控制器（3）、被检流量计（4）和储水容器（5）；所述储水容器（5）分别通过管路与至少一个标准量器（6、7）相连；其特征是，通过流入管路与被检流量计（4）相连的所述储水容器（5）内设有气囊或用于分隔被测气体与水的隔膜（9），所述气囊或用于分隔被测气体与水的隔膜（9）与流入管路相连；所述标准量器（6、7）的底面高于储水容器（5）的顶面；所述气囊或隔膜（9）上装有检测气囊或隔膜（9）内温度和压力的测温装置和测压装置。