定量X射线分析-多光路仪器

摘要

本公开涉及定量X射线分析-多光路仪器。装置包括X射线源(10)、用于X射线荧光(XRF)的波长色散X射线检测器和再次用于测量X射线荧光的能量色散X射线检测器(14)。相比较于使用两个检测器中的仅仅一个或相比较于测量具有波长色散检测器测量的低原子数元件和具有能量色散检测器的高原子数元件的简单方法，使用波长色散过程来测量选定元件减小整体测量时间。特别是基于能量色散检测器的结果，选择可动态地发生。

主权项

一种定量X射线荧光、XRF、分析特定类型的样本以测量在相应的浓度范围中的多个元素的浓度的方法，所述方法包括：执行能量色散XRF、ED‑XRF以测量预定元素的选定第一子集的浓度；执行波长色散XRF、WD‑XRF以测量所述元素的选定第二子集的浓度；其中所述元素根据标准在所述第一子集和所述第二子集之间进行划分，以与使用所述能量色散XRF和所述波长色散XRF中的仅仅一个相比较，实现按给定准确度和/或精确度测量所有多个元素的减小的整体测量时间。