一种氢气混合气净化氯硅烷与氯化氢的工艺

摘要

本发明通过两段吸附可将混合气中3％(摩尔比)的氯硅烷与氯化氢的含氯成分控制在0.1mg/Nm³以内，第一段吸附将粗净化气含氯成分控制在90～100mg/Nm³，顺向降压气含氯成分控制在5000～10000mg/Nm³，吸附塔再生采用变温变压吸附工艺，吸附剂加热同时逆向降压、顺向降压气热吹、吸附剂降温同时用第二段顺向降压解吸气冷吹，吸附塔采用原料气升压；第二段净化气的含氯成分控制在0.1mg/Nm³以内，顺向降压气含氯成分控制在90～100mg/Nm³，吸附塔再生采用变压吸附工艺，再生过程包含顺向降压解吸、逆向降压解吸，净化气60KPa吹扫，逆解气与吹扫气直接与一段再生气混合送循环压缩机。

主权项

一种氢气混合气净化氯硅烷与氯化氢的工艺，其特征在于：氯硅烷与氯化氢大约3％(摩尔比)，脱除氯硅烷与氯化氢气体，要求把含氯成分控制在0.1mg/Nm³以内，设立两段吸附分离设备：第一段吸附过程，粗净化气把含氯成分控制在90～100mg/Nm³以内，第一段吸附塔再生过程，采用变温变压吸附工艺，再生过程包含吸附塔顺向降压到吸附压力的1/3以下，第一段顺向降压气含氯成分控制在5000～10000mg/Nm³以内，吸附剂加热(温度控制在吸附工作温度的5倍以下)同时逆向降压、顺向降压气对吸附剂热吹、吸附剂降温(温度控制在吸附工作温度的1.5倍以下)同时吸附剂冷吹，冷吹气来源于第二段顺向降压解吸气，含氯成分控制在90～100mg/Nm³以内，吸附塔采用原料气升压；第二段净化气把含氯成分控制在0.1mg/Nm³以内，吸附塔再生采用变压吸附工艺，除均压过程外，再生过程包含顺向降压解吸，第一段顺向降压气含氯成分控制在90～100mg/Nm³以内，用于第一段的冷吹过程，再生过程还包含逆向降压解吸，净化气60KPa吹扫，逆解气与吹扫气直接与一段再生气直接混合送循环压缩机。