一种硅片承载花篮

摘要

一种硅片承载花篮，包括前支撑板和后支撑板，前支撑板和后支撑板面对面且间隔布置，前支撑板和后支撑板之间通过复数个连接条及底部支撑条连接以形成一花篮状框架结构，底部支撑条上设有与硅片配合的卡齿；所述前支撑板、后支撑板和连接条上均开设有导流孔，前支撑板上的导流孔在前支撑板上均匀分布，后支撑板上的导流孔在后支撑板上均匀分布，连接条上的导流孔在连接条上均匀分布。本实用新型有利于增加腐蚀液的局部流动性，使得硅片在腐蚀液中不断摆动，清洗更加均匀，硅片上无花篮印。

主权项

一种硅片承载花篮，包括前支撑板和后支撑板，前支撑板和后支撑板面对面且间隔布置，前支撑板和后支撑板之间通过复数个连接条及底部支撑条连接以形成一花篮状框架结构，底部支撑条上设有与硅片配合的卡齿；其特征在于：所述前支撑板、后支撑板和连接条上均开设有导流孔，前支撑板上的导流孔在前支撑板上均匀分布，后支撑板上的导流孔在后支撑板上均匀分布，连接条上的导流孔在连接条上均匀分布。