混合型微机电装置

摘要

本发明提供一种混合型MEMS装置，其包括不同类型的MEMS单元，其中所述各MEMS单元组装在一起并在功能上相互关联，使得各MEMS单元基于不同类型的MEMS单元的输出而操作。

主权项

一种混合单元，包括基于MEMS的至少一个声学传感器单元和光学单元，至少一个声学传感器单元和至少一个光学单元组装在一起，其中，所述声学传感器单元是微电容超声元件，其包括：底电极、顶电极和位于底电极和顶电极之间间隙的可弯曲元件，在顶电极和底电极之间施加的电场的作用下，可弯曲元件能够弯曲。